EddyCus® map 2530 für Boules, Pucks und Wafer –
für hochauflösende Mappings des el. Widerstands

Der EddyCus® map 2530 RMT ist ein kontaktfrei arbeitender Tischscanner auf Wirbelstrombasis, der sich besonders für Forschungs- und Technologie-Labore eignet. Er kann insbesondere hohe Proben, auch mit unebenen Oberflächen, wie Boules, aber auch Pucks und Wafer mappen. Das Gerät ist sehr kompakt und kann Proben mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm (8 Zoll) messen.

Benefits

• Hochauflösende Scans mit über 30.000 Messpunkten innerhalb von nur 4 Minuten für eine optimale Fehlererkennung
• Proben mit einer Höhe von bis zu 100 mm und einem Gewicht von bis zu 10 kg
• Messung bis sehr nah an den Rand der Probe möglich
• Die Software bietet verschiedene Analyseoptionen wie Linienprofil oder Histogramm
• Verschiedene Sensortypen zur optimalen Anpassung des Geräts an die Messaufgabe
• Das Tension-Frame-System ermöglicht es, die Sensor-Z-Position anzupassen, um der Kontur der Probenoberfläche auch gewölbten Oberflächen folgen

Datenblätter:

EddyCus® map 2530 RMT (6,7 MB)

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Messwerte bis an den Rand der Probe

Dank der geringen Spotgröße des SURAGUS Sensors XS von bis zu 1 mm, bietet der EddyCus® map 2530 RMT eine außerordentlich gute räumliche Auflösung. Die grute räumliche Auflösung für dazu, dass der Sensor bis zum Rand der Probe messen kann. Dies hilft, echte Messwerte zu erfassen, anstatt einen extrapolierenden Algorithmus zu verwenden, um ein vollständiges Bild der Probe zu erzeugen.

Für gewölbte und hohe Proben wie Boules und Pucks

Der Puck- und Boule-Mapper kann Proben mit einer Höhe von bis zu 100 mm aufnehmen und eine maximale Boule-Krümmung von 10 mm messen. Es können allerdings auch dünnere Proben wie Wafer aufgenommen und gescannt werden. Das Gerät unterstützt  ein Probengewicht von bis zu 10 kg, was einem SiC-Puck mit einem Durchmesser von 200 mm und einer Höhe von 100 mm entspricht. Wenn Sie schwerere Proben messen wollen, kontaktieren Sie uns bitte für weitere Informationen.

Hochauflösende Mappings

Die Auflösung eines Scans hängt von dem im Rezept gewählten Messabstand und der Größe der Probe ab. Ein Boule, Puck oder Wafer mit einem Durchmesser von 200 mm kann mit zwischen über 30.000 Messpunkten (1 mm Abstand) und etwa 300 Messpunkten (10 mm Abstand) gescannt werden. Der Unterschied in der Scangeschwindigkeit liegt bei Faktor 10. Der Sweet Spot zwischen hoher Auflösung und hoher Geschwindigkeit befindet sich bei einem Pitch von 2,5 mm. Scans mit einem 2,5 mm Pitch bestehen aus etwa 5.000 realen Messpunkten auf einem 200 mm großen Boule, Puck oder Wafer.

Dank der hohen Auflösung werden alle Informationen der Probe wiedergegeben. Es findet keine Interpolation zwischen den Messpunkten statt, was zusätzliche Informationen erzeugt, die real nicht vorhanden sind. Daher ist eine hohe Auflösung entscheidend für die Erkennung von kleinen Defekten oder Fehlern.

Um die bestmöglichen Scan-Ergebnisse zu gewährleisten, verwenden wir eine breite Palette an Sensortypen, die jeweils ihre eigenen Stärken haben. Wir analysieren sorgfältig jede Messaufgabe, um zu bestimmen, welcher Sensor am besten geeignet ist, um optimale Messergebnisse für Ihre spezifischen Anforderungen zu gewährleisten.

Geeignet für verschiedene Größen von Boules, Pucks und Wafer

Für optimale Ergebnisse ist es entscheidend, die Proben genau in der Mitte des Messfeldes zu positionieren. Unsere Inlays sorgen dafür, dass die Proben immer an der richtigen Position liegen und sind für Proben mit verschiedenen Durchmessern, bis zu 205 mm, erhältlich. Sie vereinfachen und beschleunigen den Positionierungsprozess, eliminieren dadurch eine potenzielle Fehlerquelle und gewährleisten zuverlässigere Ergebnisse.

Nutzerfreundliche Software mit umfangreichen Analyseoptionen

Das EddyCus® map 2530 RMT für Boules, Pucks und Wafers verfügt über eine einfach zu bedienende Software. Nachdem Sie Ihre Probe zentral auf das Messfeld gelegt haben:

1. Wählen Sie das Messrezept aus
2. Drücken den "Start"-Button
3. Können während des Scans der Software beim Aufbau der Map zusehen

Nachdem der Scanprozess beendet ist, kann direkt mit der Analyse begonnen werden. Analysemöglichkeiten sind:

• Linienprofil
  • Vordefiniert in X- und Y-Richtung
  • Freie Linienprofile einzeichnen
• Untersuchen bestimmter Areale des Scans
  • Rechteckauswahl
  • Kreisauswahl
  • Freies Einzeichnen eines Gebiets
• Histogramm-Analyse

For more information please watch our data sheet or contact us by email.

Data Sheet for EddyCus® map 2530 RMT

Alternative Messlösungen von SURAGUS

Wenn Sie an weiteren Lösung interessiert sind, können Sie sich unseren EddyCus® portable PS oder den EddyCus® map 2530 RMB ansehen.