Der EddyCus® map C2C ist ein vollautomatisches Messgerät zur vollflächigen Charakterisierung von Wafersubstraten oder -beschichtungen, um die Prozesssicherheit und die Qualitätssicherung, in der Halbleiterindustrie, zu gewährleisten.

Das System ist mit zwei kontaktlosen Wirbelstromsensoren, die im Transmissionsmodus arbeiten, ausgestattet. Damit kann die Homogenität des Substratmaterials oder der leitenden Beschichtung sehr detailliert dargestellt werden.

Ganz gleich welche Eigenschaft ihres Wafers sie Messen wollen, unser System ist in der Lage, den Schichtwiderstand oder die Metallschichtdicke einer Dünnschicht sowie den spezifischen Widerstand des Wafersubstrats zu messen.

Keine Berührung der Waferoberfläche

Bei der Entwicklung des Geräts wurde darauf Wert gelegt, Kontakte des Systems mit dem Wafer auf ein Minimum zu reduzieren, um die Integrität des Wafers nicht zu beeinflussen. Darum arbeitet das Gerät nahezu komplett berührungslos. Die Oberfläche des Wafersubstrats oder der -beschichtung wird nicht berührt. Kontakt besteht ausschließlich punktuell und mit geringem Krafteinsatz an den Seitenflächen des Wafers. Schauen sie sich dazu gern unser Video zum EddyCus® map C2C an, um den Handling-Vorgang zu verstehen.

Hochauflösendes, vollflächiges Wafer-Mapping

Das Messgerät erstellt ein hochauflösendes, vollflächiges Mapping des Wafers oder der Beschichtung, das Ihnen einen tiefen Einblick in die Güte des charakterisierten Wafers ermöglicht. Je nach Einstellung und abhängig von ihren zeitlichen Anforderungen sind Mappings mit wenigen dutzend bis zu mehreren zehntausend Messpunkten möglich.

Die Software bietet darüber hinaus verschiedene Analysewerkzeuge, wie ein Histogram oder verschiedene Linienprofile. Damit sie sich ein Areal auf dem Wafer besonders detailliert anschauen können, können sie die betreffende Stelle mit dem Auswahlwerkzeug anwählen und wieder mittels Linienprofilen oder dem Histogram analysieren.

Wafer Carrier für 150 mm und 200 mm Wafer

Der EddyCus® map C2C besitzt eine Ladevorrichtung die einen Wafer-Carrier mit 150 mm (6 inch) Wafern und 200 mm (8 inch) Wafern aufnehmen kann. Die Wafer-Carrier besitzen eine Kapazität von 25 Wafern.

Automatisiertes Wafer Handling

Das automatisierte Wafer-Handling ist ein wertvolles Instrument für Fertigungsunternehmen, die den Zeitaufwand für die Handhabung von Wafern reduzieren müssen. Unser automatisiertes Wafer-Handling-System hilft, die Arbeitskosten zu senken, die Genauigkeit der Wafer-Verarbeitung zu verbessern und das Risiko menschlicher Fehler zu verringern. Das System ist so programmiert, dass es Wafer präzise misst, handhabt und von der Kassette zur Messstation und zurück zur Kassette transportiert. Dadurch entfällt die Notwendigkeit einer manuellen Handhabung der Wafer, die zu Messfehlern und möglichen Schäden an den Wafern führen kann.

Speziell für Materialien mit breitem Bandabstand wie SiC, GaN

Ein Material mit breitem Bandabstand ist eine Art von Halbleitermaterial, dessen Energiebandlücke breiter ist als die eines Standardhalbleiters. Die Materialien mit breitem Bandabstand werden in der Halbleiterindustrie zur Herstellung von Transistoren und anderen integrierten Schaltungen verwendet. Diese Materialien sind für Halbleiter wichtig, da sie eine höhere Leistungseffizienz und schnellere Schaltgeschwindigkeiten ermöglichen. Materialien mit breitem Bandabstand haben auch eine höhere Durchbruchsspannung, was sie für Hochleistungsanwendungen geeignet macht. Außerdem sind sie strahlungsresistenter, was sie ideal für den Einsatz im Weltraum macht. Beispiele für Materialien mit breiter Bandlücke sind Siliziumkarbid, Galliumnitrid und Diamant. Diese Materialien werden in einer Vielzahl von Anwendungen wie Stromversorgungen, Solarzellen und Laserdioden eingesetzt.

Messen des Schichtwiderstands, der Schichtdicke und des elektrischen Widerstands

Der EddyCus® map C2C ist in der Lage den Schichtwiderstand und die Schichtdicke einer Dünnschicht sowie den elektrischen Widerstand eines Wafer-Substrats zu bestimmen. Das Gerät hat einen großen Messbereich, wodurch beinahe alle denkbaren Anwendungen durch das Gerät gemessen werden können.

Für mehr Informationen schauen sie sich gern unser Datenblatt (PDF) an.

Datenblatt des EddyCus® map C2C