EddyCus® inline Sensorline – Vollflächige berührungslose Schichtwiderstand- und Schichtdickenmesslösung für die Prozesssteuerung und Produktqualitätskontrolle

Die EddyCus® inline Sensorline ermöglicht ein vollflächiges Überwachen des Produktes durch Wirbelstromsensoren. SURAGUS bietet erweiterbare 8-Sensor-Module an, die je nach Konfiguration auf bis zu 128 inline-Messlinien erweitert werden können.

Die EddyCus® Inline-Serie misst berührungslos Schichteigenschaften wie Metallschichtdicke oder Schichtwiderstand auf verschiedenen Substraten. Typische Substrate sind Glas, Folie, Papier, Wafer, Kunststoff oder Keramik. Die Messungen erfolgen durch permanente Messungen oder durch Triggerereignisse, um äquidistante Ergebnisse in schnell ablaufenden Beschichtungsprozessen zu erhalten oder um an bestimmten Positionen auf kleinen Proben zu messen. Die Überwachung ist sowohl in Atmosphäre als auch im Vakuum möglich. Die Messungen werden mit hoher Abtastrate durchgeführt und können direkt für Prozessleitsysteme und Kundensoftware bereitgestellt werden. Zusätzlich bietet SURAGUS die Überwachungssoftware EddyCus® control an, die die Messdaten visualisiert, speichert und auswertet.

Vorteile

Berührungsfreie Echtzeit-Messung
Hohe Messgeschwindigkeit bis zu 50 Messungen je Sekunde
Fixe Sensoren-Installation oder traversierende Sensoren-Installation
Integration von 1 – 99 Beobachtungslinien pro System
Prozesssteuerung im Vakuum und nicht Vakuum
Messungen bis nah an den Rand des Substrates sind in vielen Anwendungsfällen möglich
Langzeitstabilität durch temperaturkompensierte Messungen auch bei sich verändernden Umgebung
Große Abstände zum Testobjekt möglich (z.B. Abstand von 60 mm / 24 inch)
Charakterisierung von verdeckten leitfähigen Schichten oder eingeschlossenen Substraten
Zahlreiche softwareintegrierte Analyse- und Statistikfunktionen
Einfache Einrichtung durch EddyCus RampUp Software inkl. Wizard zur Systemkalibrierung
Verschleißfrei