导言
通过采用EddyCus®在线传感器线解决方案，实现了涡流全区域监测。SURAGUS提供可堆叠的8个传感器模块，根据其配置，可实现最多128条测量通道的在线监测。
EddyCus全幅在线解决方案可监测小面积与大面积涂层的整个宽度，从而实现对产品与工艺质量的全流程优化追踪。唯有可量化的要素方能改进，我们的解决方案助您优化产品与工艺质量，在竞争中赢得显著优势。 借助我们的软件，您可轻松实现数据的精准分析。监控工艺与产品数据变得极其简单，在确保产品质量与工艺数据的同时，您还能持续提升生产效率。
EddyCus®在线系列可对各类基材进行非接触式测量，获取金属层厚度或片电阻等层状特性参数。典型基材包括玻璃、箔片、纸张、晶圆、塑料及陶瓷。测量可通过持续监测或触发事件实现，既能在高速涂覆工艺中获取等间距结果，亦可对小型样品的特定位置进行精准测量。该系统支持大气环境与真空环境下的监测作业。 测量过程采用高采样率，数据可直接传输至工艺控制系统及客户软件。此外，SURAGUS公司还提供EddyCus在线控制监测软件，用于计量数据的可视化、存储与分析。
传感器功能
- 片状电阻 [0.0001 - 100,000 欧姆/平方英寸］
- 金属层厚度 [2 纳米 – 2 毫米]
- 间隙可达75毫米
- 扫描间距 40 毫米
- 最多可支持128个传感器
支撑基底
箔片、玻璃、晶圆、纸张等
软件
- 若干视图和用户级别
- 实时视图带上下限值及报警功能
- 提供统计数据的分析视图
- 每秒可处理数千次测量数据
- 数据存储至SQL数据库
- 可定制的自动化数据导出（csv、txt、xls等格式）
- 若干智能功能（自动数据库清理、自我引用等）
- 可参数化I/O模块（触发动作或报警）
EddyCus®在线传感器系列数据表
系统功能
| 测量技术 | 非接触式涡流传感器 |
| 基板 | 箔片、玻璃、晶圆、纸张等 |
| 测量间隙尺寸 | 3 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 / 75 毫米 |
| 监测车道数量 | 最多可支持128个传感器 |
| 导电层 | 金属 / 碳纳米管复合材料 / 碳纳米管 / 纳米线 / 石墨烯 / 网格结构 / 聚二乙烯酸酯 / 其他 |
| 扫描间距 | 40毫米（5毫米至100毫米，可按要求定制） |
| 环境 | Ex-vacuo/ in-vacuo @ T < 60°C / 140°F (on request <90°C / 194°F) |
| 采样率 | 1 / 10 / 50 每秒 |
| 硬件触发器 | 5 / 12 / 24 伏特 |
| 接口 | UDP、.Net 库、TCP、Modbus、模拟/数字 |
| 可用选项 | 8传感器阵列，40毫米间距（总阵列宽度320毫米）* 16传感器阵列，40毫米间距（总阵列宽度640毫米）* 32传感器阵列，40毫米间距（总阵列宽度1,280毫米）* 48传感器阵列，40毫米间距（总阵列宽度1,920毫米）* 64传感器阵列，40毫米间距（总阵列宽度2,560毫米）* * 含标准传感器外壳 |
测量能力
| 板材电阻测量 | |
|---|---|
板材电阻范围 精度可在客户指定的范围内针对片电阻十进制量程进行优化： |
0.0001 – 100,000 欧姆/平方；精度2%至7% | 金属层厚度测量 |
| 金属膜（如铜）厚度测量范围 | 2 nm - 2 mm（根据板材电阻（参见我们的计算器） |