非接触式单点测量片电阻与
金属层厚度测量装置
通过基于非接触式涡流技术的快速精准实验室设备，实现更高品质的薄膜与基板。
- 非接触式实时测量
- 导电薄膜的精确测量
- 隐蔽与封装导电层的特性分析
- 测量数据保存和导出功能
导言
EddyCus® lab 2020 TM系列是一款紧凑型台式系统，采用涡流技术实现对导电薄膜、金属层厚度及片电阻的非接触式单点测量。 该系统可快速精准测量最大200×200毫米²（8×8英寸）的样品，兼容多种材料，包括薄金属层、掺杂晶圆及导电聚合物。
EddyCus® lab 2020 提供了一种现代化的非接触式解决方案，可替代传统的四点探针（4PP）及其他接触式测量方法。与4PP系统不同，它无需物理接触、无需表面预处理，且不受封装层或表面粗糙度的影响。
您可[此处]进一步了解涡流检测与4PP方法的对比分析。
这些优势使EddyCus® lab 2020成为研发实验室、质量控制和工艺监测的理想选择，尤其在需要速度、重复性和无损检测的关键场景中表现卓越。
该设备通常用于
- 质量控制，输入与输出控制
- 研发
- 样品尺寸范围为10×10毫米²至200×200毫米²（0.5×0.5英寸至8×8英寸）
- 测量范围在0.1毫欧姆/平方至100千欧姆/平方之间
传感器功能
面电阻 [0.0001 – 200,000 欧姆/平方]
金属层厚度 [1 纳米 – 100 微米]
电阻率 []
电学各向异性 [0.33 – 3]
传感器间隙
4–20毫米固定传感器（可根据要求定制）
支撑基底
每个样品的最大高度为8毫米
箔、玻璃、晶片、太阳能晶片等
测量领域
样品尺寸范围为10毫米×10毫米至200毫米×200毫米。
带有便于定位的标记。
功能和优点
样品尺寸可达200 x 200毫米
广泛的材料范围
各种分析选项
即时效果
手动映射
易于使用
3D 查看器
一台设备，多种测量参数
EddyCus® lab 2020 TM 实验室设备能够测量多种参数。片电阻值与金属层厚度、发射率及电阻率密切相关。只要材料特性明确，所有这些参数均可实现高精度测量。
- 板材阻力
- 金属层厚度
- 电阻率
- 电导率
- 发射率
- 电各向异性
软件和设备控制
- 非常方便用户使用的软件
- 直观的触摸屏导航
- 实时测量片电阻和层厚度
- 软件辅助手动绘图选项
- 多种数据保存和导出选项
EddyCus®实验室2020 TM视频
该视频向您展示了如何使用Lab 2020 TM设备，包括可分析的材料类型以及设备的基本工作原理。
EddyCus® lab 2020 TM 数据表
设备功能
| 测量技术 | 非接触式涡流传感器 |
| 基板 | 箔片、玻璃、晶圆等 |
| 基底面积 | 8英寸/204毫米×204毫米（三面开放） |
| 最大样品厚度/传感器间隙 | 3 / 5 / 10 / 25 毫米（由最厚样品决定） |
| 最大样品厚度/传感器间隙 | 透射设置：3–50毫米（由最厚样品决定） 反射设置：无限远（仅分析表面区域） |
| 可用的测量功能 | 片电阻率测量 电导率 电阻率 电学各向异性 磁导率（β） |
| 测量范围/精度 | 取决于测量任务、材料成分和测试对象体积。请咨询 SURAGUS 团队 |
| 设备尺寸（W/H/D） | 11.4英寸×5.5英寸×17.5英寸 / 290毫米×140毫米×445毫米 |
| 重量 | 10千克 |
测量能力
| 板材电阻测量 | |
|---|---|
| Sheet resistance measurement range (Five sensor setups available) |
超低：0.008 – 10 毫欧/平方；精度 2 – 3% 极低：0.05 – 300 毫欧/平方；精度 1 – 3% 低阻：0.001 – 100 欧姆/平方；精度1 – 3% 宽量程：0.001 – 3,000 欧姆/平方；精度1 – 5% 高量程：100 – 300,000 欧姆/平方；精度2 – 5% |
| 金属膜（如铜）厚度测量范围 | 2 nm - 2 mm（根据板材电阻（参见我们的计算器） | 金属层厚度测量 |
| 金属厚度范围 精度取决于所选设置及金属类型/ 导电性（例如铜、铝、银） |
低精度 1 – 10 纳米；2 – 5% 精度 标准精度 10 – 1,000 纳米；1 – 3% 精度 高精度 1 – 100 微米；0.5 – 3% 精度 |
电阻率测量 |
| 电阻率测量范围 | 根据板材电阻和层厚（参见我们的计算器）) | 电各向异性测量 |
| 板材电阻范围 | 0.01 - 1,000 欧姆/平方；精度 1 - 5 |
| 各向异性范围（TD/MD） | 0.33 - 3（可根据要求加大） | 多参数测量 |
|
测量类型 |
湿厚度（µm）/重量（g/m²）/干燥状态（%） 电导率/电阻率（mΩ·cm）/磁导率（H/m）β 介电常数（F/m）β |
| 测量范围/精度 | 取决于测量任务、材料成分和测试对象体积。请咨询 SURAGUS 团队 |