晶棒、晶饼、晶锭及晶片的电阻率测绘与缺陷识别

通过非接触式涡流技术实现快速精准测绘,从而提升薄膜与基板质量。专为体材料设计,如碳化硅或硅圆盘,最大承重5公斤,高度达200毫米,并具备额外晶圆测量能力。

导言

多种材料特性决定了材料的导电性。除成分外,其结构和纯度同样影响导电性。Eddy­Cus® map 2530RMB是一款漩涡电流成像系统,专用于高分辨率导电性成像及相关特性检测,可揭示材料属性、效应与缺陷。 该系统可配备多种EddyCus传感器,通过差分探头实现高分辨率或高穿透率的导电率成像及缺陷检测。系统支持生成表面图像(涡流C扫描),测量间距范围为100微米至10毫米。 三轴系统可扫描最大220×220毫米/8×8英寸的2D及2.5D区域。典型应用涵盖导电材料(如碳化硅、石墨、金属、合金或钢板及其他导电半成品)的表面特性分析,同时适用于印刷电子元件及层状结构的电气完整性检测。

涡流检测可量化材料的导电率[IACS或MS/m]或电阻率[欧姆·米]。材料的导电率能反映其特性,例如材料类型及成分均匀性。除直接反映电学特性外,导电率还包含与热学特性、力学特性及结构完整性相关的信息。

该设备通常用于

  • 测量范围:0.01 – 65 MS/m(0.1 – 110 % IACS)
  • 样品尺寸:50 x 50 毫米至 300 x 300 毫米
  • 形状:平面与曲面
  • 专用于特定测量任务的可更换传感器
  • 根据样品尺寸定制样品托架的布局和形状
  • 数据分析、导出和报告功能

传感器功能

  • 电阻率 [0.1 – 1,000 毫欧姆·厘米]
  • 面电阻 [0.00005 – 100 欧姆/平方]
  • 金属层厚度 [通过转换或直接校准]

支持的样品厚度

2 - 4 毫米固定传感器(可根据要求定制)

支撑基底

箔、玻璃、晶片、太阳能晶片等

  • 每个样品的最大高度为200毫米
  • 每个样品的最大直径为300毫米
  • 最大重量5千克(取决于直径)

测量领域

  • 样品尺寸范围为50毫米×50毫米至300毫米×300毫米。
  • 最大测量区域 220 毫米 × 220 毫米

带有便于定位的标记。

功能和优点

2–12英寸球体、圆盘、锭块及晶片

5 – 200 毫米 圆坯、圆饼、锭坯厚度

各种分析选项

快速结果

高分辨率映射

易于使用

3D 查看器

一台设备,多种测量参数

EddyCus® 2530 RMB 测绘仪可测量多种参数。电阻率与面电阻及金属层厚度呈相关性。只要材料特性明确,所有这些参数均可实现精准测量。

软件和设备控制

  • 非常方便用户使用的软件
  • 实时绘图测量
  • 易于使用的统计分析选项
  • 预定义的测量和产品配方(尺寸、间距、阈值)
  • 线性扫描、直方图和区域分析
  • 黑色和彩色图像编码
  • 导出 Csv 和 pdf
  • PC 摘要和导出
  • 3 用户级别
  • 参数材料数据库
  • 转化
  • 边缘效应补偿
  • 存储和导入数据
  • 导出数据集(如导出至 EddyEva、MS Excel、Origin)

EddyCus®地图视频 2530元

该视频向您展示了如何使用价值2530元人民币的地图,说明了可分析的材料种类以及设备的基本工作原理。

应用领域

电导率测定与电导率成像技术可提供以下方面的见解:

  • 材料类型与材料纯度
  • 材料成分及其变化的评估
  • 杂质/掺杂
  • 结构与结构完整性的差异
  • 铸造材料的凝固行为
  • 受电导率影响的特性,如硬度、应力、晶界及其他特性

图片库

EddyCus® 2530 RMB 数据表

设备功能

测量技术 高频涡流传感器
基板 球体、圆盘、锭块、晶片(平坦、略微弯曲)
基底面积 12 英寸 / 300 毫米 x 300 毫米(可根据要求提供更大尺寸)
活动区域 8英寸/220毫米×220毫米(可按要求定制更大尺寸)
边缘效应修正/排除 2 - 10 毫米(取决于尺寸、范围、设置和要求)
最大样品厚度 200毫米(最大5千克)
扫描间距 0.1 / 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米(其他规格可定制)
速度 每秒400毫米(时间范围1至30分钟)
模式 接触式与非接触式
可用的测量功能 电阻率成像
电导率成像
面电阻成像
金属厚度成像
电学各向异性图
设备尺寸(W/H/D) 31.5 英寸 x 19.1 英寸 x 33.5 英寸 / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米
重量 90 公斤

测量能力

电阻率测量
电阻率测量范围 0.1 – 1 毫欧·厘米;2 – 5 % 精度
1 – 10 毫欧·厘米; 精度1–3%
10–30毫欧姆·厘米;精度1–3%
30–100毫欧姆·厘米;精度1–3%
100–1,000毫欧姆·厘米;精度3–5%
板材电阻测量
板材电阻测量范围 0.05 – 0.1 毫欧/平方;1 – 2 % 精度
0.1 – 10 毫欧/平方;1 – 2 % 精度
10 – 100 毫欧/平方;1 – 2 % 精度
100 – 1,000 毫欧/平方;精度 1 – 2%
1,000 – 10,000 毫欧/平方;精度 1 – 2%
10,000 – 100,000 毫欧/平方;精度 3 – 5%
金属层厚度测量
金属层厚度测量范围
通过转换或直接校准进行金属厚度测量