导言
EddyCus® 2530 RMT型台式扫描仪专为科研与技术实验室设计。该设备功能全面，不仅能测量高大且表面不平整的样品（如晶锭），亦适用于圆盘状样品及晶圆。其结构紧凑，可测量最大直径达300毫米（12英寸）的样品。
该设备通常用于
- 形状：具有曲面的大宗物料
- 专用于特定测量任务的可更换传感器
- 根据样品尺寸定制样品托架的布局和形状
- 数据分析、导出和报告功能
- 测量至边缘
- 超过30,000个真实测量点用于微小缺陷检测
传感器功能
- 电阻率 [0.1 - 100 欧姆-厘米］
- 电导率 [0.01 – 65 MS/m]
- 片电阻 [取决于电阻率]
- 金属层厚度 [2 纳米 – 2 毫米]
支撑基底
球、冰球和薄饼
- 最大高度：100毫米
- 最大重量：10千克
测量领域
样品尺寸范围为Ø 150毫米至Ø 200毫米
可根据要求提供不同尺寸
功能和优点
2 - 12 英寸
高样本可测性
各种分析选项
直面极限
快速结果
高分辨率映射
易于使用
曲面
直面极限
由于SURAGUS Sensor XS的微小光斑尺寸（最大仅1毫米），EddyCus® map 2530 RMT具备极佳的空间分辨率。因此该传感器可测量至样品边缘，从而记录真实测量值，而非通过外推算法生成样品完整图像。
高分辨率映射
扫描分辨率取决于配方中选择的测量间距和样品尺寸。直径为300毫米的晶锭、圆盘或晶圆可包含超过30,000个测量点（1毫米间距）至约300个测量点（10毫米间距）。 扫描速度差异可达10倍。2.5毫米间距是高分辨率与高速扫描之间的最佳平衡点。在300毫米晶棒、晶片或晶圆上，2.5毫米间距的扫描可获得约5,000个真实测量点。
由于分辨率较高，所有信息均得以完整保留。测量点之间不会进行插值处理以生成额外信息。因此，高分辨率对于检测微小缺陷或瑕疵至关重要。
为确保最佳扫描效果，我们提供多种传感器类型，每种传感器均具备独特的优势与局限性。我们对每项测量任务进行细致分析，以确定最适配的传感器，从而为您的特定需求提供最优性能保障。
一台设备，多种测量参数
EddyCus® 2530 RMT 测量仪可测定多种参数。电阻率与面电阻及金属层厚度存在相关性。只要材料特性明确，所有这些测量参数均可实现精准测定。
- 电阻率
- 电导率
- 板材阻力
- 金属层厚度
操作简便的软件，配备多种分析选项
EddyCus® 2530 RMT 型磁共振测厚仪（适用于圆柱体、圆盘及薄片）配备操作简便的软件。将样品置于测量区域中央后，您即可
选择您的配方
点击“开始”
在扫描过程中观察软件生成地图的过程
扫描完成后即可启动分析流程。您将能够
- 绘制线轮廓
- 预定义线轮廓和
- 自由绘制的线形剖面图
- 绘制特定感兴趣区域
- 矩形
- 圆圈
- 画笔绘制自由区域
- 选择直方图
片状电阻成像
金属层厚度成像
电阻率成像
电各向异性成像
EddyCus® 2530 RMT 地图视频
该视频向您展示了如何使用2530 RMT型分析仪。其中涵盖了可分析的材料类型以及设备的基本工作原理。
适用于各种尺寸的球体、圆盘和薄片
为获得最佳效果，必须将样品精确定位于中心位置。嵌件适用于直径达205毫米的各类样品，可简化并加速定位过程，消除潜在误差源，确保结果更可靠。
弯曲且高大的样本，如球体和圆盘
圆盘与晶棒成像装置可测量高度达100毫米的样品，最大晶棒曲率为10毫米。该设备亦能扫描晶圆等薄型样品。 该设备支持最大10公斤的样品重量，相当于直径300毫米、高度100毫米的碳化硅圆盘。若需测量更重样品，请联系我们获取更多信息。
EddyCus® 2530 RMT 地图数据表
设备功能
| 测量技术 | 高频涡流传感器 |
| 基板 | 弹珠、冰球、薄饼 |
| 基底面积 | 12英寸/305毫米×305毫米（可按要求定制更大尺寸） |
| 边缘效应修正/排除 | 2 - 10 毫米（取决于尺寸、范围、设置和要求） |
| 最大样品厚度/传感器间隙 | 100 毫米 |
| 最大样品重量 | 10千克 |
| 扫描间距 | 0.1 / 1 / 2.5 / 5 / 10 毫米（其他规格可定制） |
| 光斑尺寸（线圈尺寸） 穿透深度（频率） |
1 – 9 毫米（取决于线圈尺寸） 1 – 10 毫米（取决于频率） |
| 每次测量点（正方形样本） | 0.5 分钟内 100 个测量点 3 分钟内 10,000 个测量点 |
| 速度 | 每秒150毫米（时间范围1至30分钟） |
| 可用的测量功能 | 面电阻率图 电导率图 电阻率图 电学各向异性图 渗透率图（测试中） |
| 设备尺寸（W/H/D） | 31.5 英寸 x 19.1 英寸 x 33.5 英寸 / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米 |
| 重量 | 90 公斤 |
测量能力
| 电阻率测量 | |
|---|---|
| 电阻率测量范围 |
0.1 – 1 mOhm·cm；2 – 5 % 精度 1 – 10 mOhm·cm；1 – 3 % 精度 10 – 30 mOhm·cm；1 – 3 % 精度 30 – 100 mOhm·cm；1 – 3 % 精度 |
电导率测量 |
| 电导率测量范围 | 0.01 – 65 毫秒/米 | 板材电阻测量 |
| 板材电阻测量范围 |
0.05 – 0.1 毫欧/平方；1 – 2 % 精度 0.1 – 10 毫欧/平方；1 – 2 % 精度 10 – 100 毫欧/平方；1 – 2 % 精度 100 – 1,000 mOhm/sq；精度1–2% 1,000 – 10,000 mOhm/sq；精度1–2% |
金属层厚度测量 |
|
金属层厚度测量范围 |
通过转换或直接校准进行金属厚度测量 |