导言
EddyCus® map 2530 TM系列以非接触模式自动测量大型样品的片状电阻，最大可达 300 × 300 平方毫米（12 × 12 英寸）。手动放置样品后，系统会执行全自动扫描，并生成整个表面的高分辨率薄层电阻图。
该工具使用静止的涡流传感器，而样品台则可移动以进行扫描。这种设计可以在不需要物理接触的情况下进行测量，消除了接触电阻造成的误差。根据所选设置，用户可以优先考虑快速测量时间（1 分钟以内）或高空间分辨率（每次扫描多达90,000 个测量点）。
非接触式测量确保了高精度和可重复性，不受表面状况或接触质量的影响。密集的测量网格能够可靠地检测材料变化、不均匀性和缺陷。附带的软件提供各种先进的分析工具，支持在生产和研究环境中对薄膜进行系统的质量控制。
该设备通常用于
- 技术：非接触式涡流
- 多点测绘成像
- 取样区域：300 x 300 毫米
- 建议的样品尺寸：1 英寸至 12 英寸或 25 至 300 毫米
传感器功能
- 片状电阻 [0.00005 - 300,000 欧姆/平方英寸］
- 金属层厚度 [1 纳米 - 100 微米］
- 电阻率 [取决于板材电阻］
- 电各向异性 [0.33 - 3]
支持的样品厚度
2 - 4 毫米固定传感器（可根据要求定制）
支撑基底
箔、玻璃、晶片、太阳能晶片等
每个样品最大高度为 4 毫米
测量领域
样品尺寸在 25 毫米 x 25 毫米和 300 毫米 x 300 毫米之间。
带有便于定位的标记。
可拆卸晶片架
精确测量需要精确的中心定位。
为了方便对中，我们提供了可拆卸的晶圆支架
，可与各种尺寸的晶圆兼容。
材料：PEEK
定制尺寸在 2 英寸 - 300 毫米之间
功能和优点
2 - 12 英寸
6 个十年
各种分析选项
快速结果
高分辨率映射
易于使用
3D 查看器
一台设备，多种测量参数
EddyCus® map 2530 TM能够测量多个参数。薄板电阻与金属层厚度、发射率、电阻率和导电率相关。只要已知材料特性，就能高精度地测量所有这些参数。此外，该设备还能确定薄片电阻的各向异性。
- 板材阻力
- 金属层厚度
- 电各向异性
- 发射率
- 电阻率
- 电导率
软件和设备控制
- 非常方便用户使用的软件
- 实时绘图测量
- 易于使用的统计分析选项
- 预定义的测量和产品配方（尺寸、间距、阈值）
- 线性扫描、直方图和区域分析
- 黑色和彩色图像编码
- 导出 Csv 和 pdf
- PC 摘要和导出
- 3 用户级别
- 参数材料数据库
- 转化
- 边缘效应补偿
- 存储和导入数据
- 导出数据集（如导出至 EddyEva、MS Excel、Origin）
EddyCus® 地图 2530 TM 的视频
通过视频，您可以了解如何使用 map 2530 TM。可以分析哪些材料以及设备的总体工作原理。
EddyCus® 地图 2530 TM 的数据表
设备功能
| 测量技术 | 非接触式涡流传感器 |
| 基板 | 晶片、玻璃、箔等。 |
| 基底面积 | 12 英寸 / 300 毫米 x 300 毫米（可根据要求提供更大尺寸） |
| 最大样品厚度/传感器间隙 | 3 / 5 / 10 / 15 毫米（以最厚样品为准） |
| 扫描间距 | 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米（根据要求提供其他规格） |
| 每次测量点（正方形样本） | 0.5 分钟内 100 个测量点 3 分钟内 10,000 个测量点 |
| 扫描时间 | 扫描时间取决于样品的大小和间距。 8 英寸/200 毫米 x 200 毫米，1 至 10 分钟（1 - 10 毫米间距）12 英寸/300 毫米 x 300 毫米，2 至 6 分钟完成（2.5 - 25 毫米间距） |
| 可用的测量功能 | 薄层电阻图 金属层厚度图 电阻率图 传导率图 电各向异性图 发射率图 |
| 设备尺寸（W/H/D） | 31.5 英寸 x 19.1 英寸 x 33.5 英寸 / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米 |
| 重量 | 90 公斤 |
测量能力
| 板材电阻测量 | |
|---|---|
|
板材电阻测量范围 (提供四种传感器设置） |
极低：0.05 - 300 mOhm/sq；1 - 3 % 精度 低： 0.001 - 100 欧姆/平方；1 - 3 % 精度 宽范围：0.001 - 20,000 欧姆/平方；1 - 5 % 精度 高： 100 - 300,000 欧姆/平方；1 - 5 % 精度 |
| 金属膜（如铜）厚度测量范围 | 2 nm - 2 mm（根据板材电阻（参见我们的计算器） | 金属层厚度测量 |
|
金属厚度范围 精度取决于所选设置和金属类型/导电率（如铜、铝、银）。 导电性（例如铜、铝、银） |
低精度 1 - 10 纳米；精度 2 - 5 标准 10 - 1,000 纳米；精度 1 - 3 高 1 - 100 µm；0.5 - 3 % 精度 |
| 板材电阻测量范围 | 0.1 欧姆/平方 - 100,000 欧姆/平方 | 电阻率测量 |
| 电阻率测量范围 | 根据板材电阻和层厚（参见我们的计算器）) | 电各向异性测量 |
| 板材电阻范围 | 0.01 - 1,000 欧姆/平方；精度 1 - 5 |
| 各向异性范围（TD/MD） | 0.33 - 3（可根据要求加大） | 多参数测量 |
| 测量类型 |
湿厚度（微米）/重量（克/平方米）/干燥状态（百分比） 电导率/电阻率（毫欧厘米）/渗透率（氢/米） Beta 介电常数（F/m） Beta |
| 测量范围/精度 | 取决于测量任务、材料成分和测试对象体积。请咨询 SURAGUS 团队 |