精密光学仪器
精密光学元件在多个行业的不同应用中均有需求，例如半导体、工业传感器和汽车领域。为实现卓越的光学性能，在以下沉积工艺中需要精密计量仪器：
- 滤光片涂层（陷波、长通、增透）
- 紫外线，可见光/近红外带通滤光片，长波红外带通滤光片
- 黑铬
- 镜子
- 分束器
- 维瑞尔
- 高折射率
- 低指数
测试
- 板材阻力
- 电导率
- 厚度
- 均质性
应用
- 超薄玻璃
- 柔性玻璃
- 晶圆
- 西
- InP
- 砷化镓
- 标准
- 目录光学元件
- 激光光学
进程
- 晶圆级
- 批处理系统
- 加载锁
- 集群系统
- 内联
- S2S
- 承运人
环境
- 在真空状态下和脱离真空状态下
- 原位与异位
- 在线和离线
类型
- 滤光片涂层（陷波、长通、增透、紫外）
- 带通（可见光、近红外、长波红外）
- 黑铬
- 镜子
- 分束器
- 维瑞尔
- 高折射率
- 低指数