导言
建议每12个月至少对每台测量设备进行一次准确度验证。SURAGUS参考标准采用NIST标准，可满足ISO 17025和ISO 9001要求。参考样品具有稳定均匀的涂层，提供多种片电阻范围和尺寸规格。 根据测量范围，SURAGUS提供包含4至22个样品的参考套装。SURAGUS保证样品数值在12个月内稳定，并提供重新认证服务。
该设备通常用于
- 电气特性测试系统的校准
- 系统准确性验证以满足ISO 9001和ISO/IEC 17025标准
测试类型与测量方法
- 涡流
- 两点和四点探针（4PP）
- 霍尔效应测量
- 范德波
处理
- 标准品和对照样品采用精密包装。
- 不易破损的基材，便于安全运输
尺寸
- 晶圆尺寸样品提供2英寸、3英寸、4英寸、6英寸、8英寸和12英寸规格。
- 10×10毫米，25×25毫米，50×50毫米，100×100毫米，200×200毫米，300×300毫米
- 其他尺寸可按要求定制
材料与层叠结构
- SURAGUS开发了涵盖九十年间不同电气片电阻值的各类层与层堆叠结构。
- 每层沉积都具有极高的均匀性。
- 所有样品均经过全面的样品筛选和非接触式表征流程
- 所使用的层堆栈经过优化，具有低老化特性
标准
- SURAGUS制造商认证
- 应要求提供符合ISO/IEC 17025标准的可追溯性参考样品
- 应要求提供NIST标准
验证与认证
- 所有参考样品均需经过复杂的验证流程，包括非接触式片电阻成像以排除缺陷，以及全面的验证程序。
参考样本集数据表
系统功能
| 材料 | 金属及合金的片电阻范围 |
| 基板 | 箔片，玻璃 |
| 有效性 | 1年 |
| 尺寸 | 1英寸至300×300毫米 |
| 参考标准 | ~1% 至 NIST 晶圆 |
| 均质性 | 更好1% |
可用套装
该套件包含具有不同片电阻值的元件，其覆盖范围涵盖了整个带宽。
一套SURAGUS认证*校准参考样品……
| (6件) 适用于0.001 – 0.1 欧姆/平方 | (14件) 适用于0.01 – 100 欧姆/平方 | (13件) 适用于0.1 – 500 欧姆/平方 |
| (9件) 适用于0.001 – 1 欧姆/平方 | (15件) 适用于0.01 – 200 欧姆/平方 | (14件) 适用于0.1 – 1,000 欧姆/平方 |
| (15件) 适用于0.001 – 100 欧姆/平方 | (16件) 适用于0.01 – 500 欧姆/平方 | (16件) 适用于0.1 – 2,000 欧姆/平方 |
| (16件) 适用于0.001 – 200 欧姆/平方 | (17件) 适用于0.01 – 1,000 欧姆/平方 | (17件) 适用于0.1 – 3,000 欧姆/平方 |
| (17件) 适用于0.001 – 500 欧姆/平方 | (19件) 适用于0.01 – 2,000 欧姆/平方 | (18件) 适用于0.1 – 5,000 欧姆/平方 |
| (18件) 适用于0.001 – 1,000 欧姆/平方 | (20件) 适用于0.01 – 3,000 欧姆/平方 | (4件) 适用于100–500欧姆/平方 |
| (20件) 适用于0.001 – 2,000 欧姆/平方 | (21件) 适用于0.01 – 5,000 欧姆/平方 | (5件) 适用于100 – 1,000 欧姆/平方 |
| (21件) 适用于0.001 – 3,000 欧姆/平方 | (8件) 适用于0.1 – 10 欧姆/平方 | (7件) 适用于100 – 2,000 欧姆/平方 |
| (22件) 适用于0.001 – 5,000 欧姆/平方 | (11件) 适用于0.1 – 100 欧姆/平方 | (8件) 适用于100 – 3,000 欧姆/平方 |
| (12件) 适用于0.1 – 200 欧姆/平方 | (9件) 适用于100 – 5,000 欧姆/平方 |
* 请注意，这些参考样品已通过SURAGUS认证。如需ISO/IEC 17025可追溯性参考样品，请联系我们的销售团队：
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