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Projekt niniAs
Projekt: niniAs Entwicklung einer nicht-invasiven in-situ Analysemethode zur Schichtdickencharakterisierung in PVD-Prozessen Entwicklung eines integrierten Messsystems, das während des PVD-Prozesses simultan Schichtwiderstand und Temperatur präzise erfasst. Dazu werden zunächst die elektrischen Eigenschaften von Metallschichten unter variierenden Temperaturbedingungen experimentell untersucht. Parallel dazu werden Modelle zur Auswertung des zeitlichen Verhaltens der elektrischen Signale entwickelt und mit den Messdaten […]
Projekt MixItUp
Projekt: MixItUp Entwicklung einer Inline-Methode zur elektrischen Charakterisierung des Slurrys mittels Wirbelstromsensor Entwicklung einer neuartigen Messmethode für die In-situ-Charakterisierung von Slurrys in der Batterieproduktion Optimierung eines Wirbelstromsensors mit FPGA-basierter Echtzeit-Signalverarbeitung und direkte Integration in die Slurry-Produktion Abgleich der Messwerte in einer Prozessparameter-Datenbank Validierung der Methode in einem Teststand und anschließende Übertragung auf eine Pilotlinie Definition […]
Projekt Metropro
Projekt: METROPRO Prozessnahe Metrologie von hochproduktiven Vakuummetallsierungsprozessen auf bis zu 300 mm Wafern Entwicklung berührungsloser in-situ Messlösungen für elektrische Eigenschaften von Metallschichten mittels Wirbelstrommessung Anwendungen in Halbleitertechnik, Quantensystemen, Frequenzfiltern und kristallinem Schichtwachstum Stärkung der internationalen Wettbewerbsposition sächsischer Unternehmen Retrofit bestehender Anlagen und Integration in Neuanlagen Erhöhung der Qualitätssicherung und des Automatisierungsgrads Projektlaufzeit: 01.07.2025 – 31.12.2027
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SURAGUS Product Overview SURAGUS Product Overview Non-contact eddy current measurement systems for sheet resistance, layer thickness, resistivity, and further electrical parameters – from handheld devices to full inline integration. Single Point – Handheld & Benchtop ‹ › Handheld EddyCus® Portable Portable handheld device for non-contact sheet resistance measurement directly on-site. Instant results on the integrated […]