Projekt: METROPRO

Prozessnahe Metrologie von hochproduktiven Vakuummetallsierungsprozessen auf bis zu 300 mm Wafern

• Entwicklung berührungsloser in-situ Messlösungen für elektrische Eigenschaften von Metallschichten mittels Wirbelstrommessung
• Anwendungen in Halbleitertechnik, Quantensystemen, Frequenzfiltern und kristallinem Schichtwachstum
• Stärkung der internationalen Wettbewerbsposition sächsischer Unternehmen
• Retrofit bestehender Anlagen und Integration in Neuanlagen
• Erhöhung der Qualitätssicherung und des Automatisierungsgrads

Projektlaufzeit: 01.07.2025 – 31.12.2027