Projekt: METROPRO
Prozessnahe Metrologie von hochproduktiven Vakuummetallsierungsprozessen auf bis zu 300 mm Wafern
- Entwicklung berührungsloser in-situ Messlösungen für elektrische Eigenschaften von Metallschichten mittels Wirbelstrommessung
- Anwendungen in Halbleitertechnik, Quantensystemen, Frequenzfiltern und kristallinem Schichtwachstum
- Stärkung der internationalen Wettbewerbsposition sächsischer Unternehmen
- Retrofit bestehender Anlagen und Integration in Neuanlagen
- Erhöhung der Qualitätssicherung und des Automatisierungsgrads
Projektlaufzeit: 01.07.2025 – 31.12.2027
